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製品の詳細
電動変位台選択ガイド Feinixsシリーズ製品命名規則 変位制御の基本概念
FMSR100
詳細仕様パラメータ
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-本体にステンレス加工を施したもの -10-3 Pa真空環境に適した真空ステッピングモータを採用 -高精密セックスフォークローラーベアリング、運動輸死平滑、荷重大 -ステッピング/サーボモータとボールネジは高品質弾性カップリングによって接続され、偏心干渉を大幅に低減し、騒音を低減する偏心解消性能が優れている -MS 232インタフェースを標準装備し、MSCシリーズのモーションコントローラは自動制御を実現することができる -ベースに標準穴ピッチの貫通穴があり、取り付け固定が容易 -お客様の要件に合わせてカスタマイズ可能 |
詳細仕様パラメータ
| 画像 |  |
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| 製品型番 | FMSR100 | FMSR100V |
| 外形寸法 | 217.5X116x45.5 | 210x116x45.5 |
| メサ寸法（mm） | Ø100 | Ø100 |
| モーター台 | 鳴志42ステップ | 真空42ステップ |
| 持続トルク（N.M） | \ | \ |
| ピークトルク（N.M） | \ | \ |
| ストローク（°） | 360 | 360 |
| 最大速度（°/s） | 20 | 20 |
| 垂直荷重（Kg） | 10 | 10 |
| 解像度(°) | 0.0025 | 0.0025 |
| 最小変位量（°） | 0.005 | 0.005 |
| 一方向繰り返し位置決め精度（°） | ±0.005 | ±0.005 |
| 双方向繰り返し位置決め精度（°） | ±0.01 | ±0.01 |
| 位置決め精度（°） | ±0.02 | ±0.02 |
| エンドホップ（um） | 25 | 25 |
| けいじょうジャンプ | 25 | 25 |
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